科学機器年鑑2019年版 第2章 主要製品のマーケット動向－表面分析関連装置 7．X線光電子分光分析装置（XPS,ESCA）

摘要

X線光電子分光分析装置（XPS，ESCAとも呼は汁しる）は，試料表面にX線を照射した時に飛び出してくる光電子の運動エネルギーを測定することにより，表面を構成している元素の同定や原子，分子の化学結合状態に関する情報を得る装置である。XPSはX線を探針（＝プローブ）として用いており，電子やイオンを使う他の方法と比較して試料に与えるダメージ（損傷やチャージング）が少なくできる。そのため，金属，半導体をはじめ，ポリマー，セラミックス，触媒など分析対象は多く，それらの新製品·新素材開発から品質管理までと利用されるシーンも多岐にわたっている。こうしたことから，XPSはAESやSIMSに比べて市場規模が大きく，参入メーカーも多くなっている。また12年頃より，有機物試料の深さ分解能を得られるオプション装置としてアルゴンガスクラスターイオン銃（以下ArGCIBと表記）が登場。その他，16年頃からは従来よりもエネルギーの高いX線源を用いる技術（HAXPESと呼ばれている）が実用化し始めている。