科学機器年鑑2019年版 第2章 主要製品のマーケット動向－表面分析関連装置 5．電子線マイクロアナライザ（EPMA）

摘要

電子線マイクロアナライザ（EPMA＝Electron Probe Micro Analyserの略）とは，電子線を物質表面に照射し，そこから発生する特性X線を検出·測定することで物質の定性分析を行う装置である。具体的には，微少領域から広領域までの非破壊での観察，元素分析（組成元素の同定，濃度分析），画像処理（マッピング他）などが可能。分析対象はほぼすべての固体で，金属、半導体、セラミックス、ガラス、セメント鉱物、触媒、ゴム、プラスチック、繊維など幅広い。そのため基礎研究分析から生産現場での検査·品質管理，エネルギー·公害等の分析まで，幅広い分野で用いられている。なお，装置の構成としてはSEMとほぼ同じのため，分析と同時にSEM観察が行えるものも多い。また，02年ごろより登場しているFE銃を装備したモデルでは数十から百ナノオーダー領域の観察も可能となっている。