マスフロ一千夜一夜物語 第34回

摘要

「質量流量計」に分現される熱式流量センサーを搭載した流量測定＆制御機辞（マスフローメータ、マスフローコントローラ）の派生製品としての圧力制御を目的として誕生したAutomatic Pressure Controller（APC）の解説と、圧力変動影響横和の為に圧力センサーを取り込み進化するMFCの未来像と絡めて解説する。