机译:低k介电沟槽结构上的氟碳聚合物薄膜的紫外线辅助改性和去除机理
low-k dielectrics; fluorocarbon polymer; postetch residue removal; UV irradiation; photosensitization; singlet oxygen;
机译:低k介电沟槽结构上的氟碳聚合物薄膜的紫外线辅助改性和去除机理
机译:去除多孔聚合物低介电常数薄膜中的水分污染
机译:用于可伸缩晶体管应用的具有氧化锆的网络结构可改性混合聚合物介电膜
机译:UV辅助PECVD沉积的低k SIOC(-H)介电薄膜缺陷状态和电荷传输性能的紫外线辐照
机译:用于高级互连的多孔低k电介质的机械可靠性:多孔低k电介质的不稳定性机理及其通过惰性等离子体引发的骨架结构再聚合的介导研究。
机译:用于微和纳米电子应用的低k介电薄膜的热稳定性的宽带介电光谱表征
机译:使用无氧碳氟化合物等离子体将等离子体损伤和超低k介电薄膜的原位密封降至最低