《特集_マイクロマシン》：ワイヤレスマイクロマシンの研究開発

摘要

近年，MEMS (Micro Electro Mechanical System)研究，マイクロマシン技術の研究が世界中で盛hに行われている。 日本においても，1992年より2001年の10年間で，通商産業省工業技術院（現：経済産業省）産業科学技術研究開発制度の「マイクロマシン技術の研究開発」プロジェクトを実施し，幾つかのマイクロマシンシステムの開発を行った。 その開発の中で，管内自走環境認識システムといわれるワイヤレスマイクロマシンがあり，㈱デンソー，㈱東芝，三洋電機㈱の3社の協力下で開発を行った。 このシステムは，CCD マイクロカメラ，移動機構，エネルギー供給·通信デバイス，システム制御回路等から構成されている。