エアロゾルデポジション法によるBi-YIGガーネット膜の磁気特性とその超小型光ファイバ端磁気光学プローブ応用

摘要

我々は、低侵襲（発生電磁界を乱しにくいこと）、高空間分解能、広帯域といった優れた特徴を有している光ファイバ端電磁界プローブを、高密度実装電気設計の支援目的で開発し、AD法より超小型化光ファイバ端電気光学プローブの形成に成功している。 ここでは、AD法によるBi-YIG膜の磁気特性の測定と磁界計測用の磁気光学(MO)プローブの作製に成功したので報告する。