エアロゾルデポジション法により作製した超か型光ファイバ端電気光学/磁気光学プローブ

摘要

現在の小型·高性能電子機噐の開発においてをもその安全供託や開発に伴うリワークの減少のために、機券の試作段階で電子部品の電気特性評価を正確に行うことが不可欠となっている。LSIやキャパシタなどの部品が高密度に実装され実動作した状態で、それらの動作状態や性能あるいは放出ノイズ量を定量評価することが求められている。このような要望に応えるために、我々は微、電磁界プローブの開発とその効果的な適用法に関する研究を進めている。最近、微粒子材料の衝突付着現象を利用した膜形成手法であるエアロゾルデポジション（AD）法を用いて、電気光学（EO）材料あるいは磁気光学鋤0）材料の微粒子を光ファイバの端面に吹きつけることにより世界最小レべルの電界/磁界プローブを開発した。以下に、その特徴と基本性能について述べる。