MEMS技術によるマイクロセンサとRF－MEMSデバイス

摘要

本稿では，筆者らのチームが開発を行って来たMEMSデバイスの中でも，メカニカルセンサとして静電容量型加速度センサ，フィジカルセンサとして車載用熱式マイクロエアフローセンサ及びGMR (Giant Magmeto－Resistive)回転センサ，オプティカルセンサとしてSOI (Silicon On Insulator)ダイオード方式非冷却赤外線イメージセンサとマイクロオプティカル距離センサに関し，上述したMEMS特有の得失と新規要素技術を関連させて，具体的開発例を紹介する．また，最近注目されているMEMS技術分野としてのRF (Radio Frequency)－MEMSに関連し，我々の最新の研究成果を概観すると共に，将来型MEMSセンサとユビキタスセンシングの方向性について多少触れたい．