光電式ABSリニアエンコーダの最新技術

摘要

リニアエンコーダは，周期的パターンを有するスケールと，そのスケールに相対して配置された検出ヘッドにより，スケールの変位量を電気信号に変換して出力するシステムである。リニアエンコーダをそのスケール構造及び変位の検出に利用する物理量の違いにより分類すると，光学系で映し出されたスケールパターン像の変化を検出する光電式，平面コイルパターンの相互インダクタンスの変化を検出する電磁誘導式，磁石パターンの磁力の変化を検出する磁気式，平面電極パターン間の容量の変化を検出する静電容量式などに分けられる。これらの検出原理には各々特徴があるが，本稿で話題とする光電式エンコーダは他の方式に比べてパターンの微細化が可能であることから，高精度·高分解能が必要とされる用途に多く用いられており，とりわけ，精密工作機械，半導体，液晶パネルなどの各種製造装置や，三次元／画像測定機といった計測装置などのフルクローズドループ制御系において欠かせないものとなっている。