空間光変調技術を用いた高精度·高スループットレーザー加工技術と実用化プラットフォームの構築

摘要

フェムト秒レーザー加工は，半導体素子やセラミックスの低マージン切断や超微細穴加工，半導体光検出素子表面上へのナノ構造形成による検出の高帯域と高感度化，金属に特殊な光沢感を与えるカラードメタルを含む光反射率制御，親水·疎水性制御のような表面改質，光メモリーや光導波路フォトニック結晶をはじめとする材料内体積型光学素子や複屈折光学素子の作製に使われており，ナノ秒やピコ秒レーザー加工，機械的加工や化学的加工では実現の難しい特殊表面加工や高品質な内部加工に極めて高い有効性と革新性を有する．近年では，5Gなど情報通信量の増加に対応するため，マルチモードファイバに光信号を多重化する空間多重伝送技術を実現する光モード合分波器用3次元導波路や，振動や温度などの環境条件に対して高度に安定動作する光導波路·分光器·光変調器を一体で実装するモノリシック量子計算用光回路等の新しい応用展開も出てきた。