公开/公告号CN1698000A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-11-16
原文格式PDF
申请/专利权人 精工爱普生株式会社;
申请/专利号CN200480000414.9
申请日2004-03-04
分类号G02F1/13357;G02F1/1335;G02F1/13;G02B5/02;G02B5/04;G02B21/00;
代理机构北京市中咨律师事务所;
代理人李峥
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-17 16:46:38
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-04-27
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02F1/13357 授权公告日:20080604 终止日期:20150304 申请日:20040304
专利权的终止
2008-06-04
授权
授权
2006-01-11
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-11-16
公开
公开
机译: 空间光调制装置,使用空间光调制装置的投影仪,制造空间光调制装置中使用的精细结构元件的方法以及通过该方法制造的精细结构元件
机译: 空间光调制设备,使用空间光调制设备的投影仪,制造空间光调制设备中使用的精细结构元件的方法以及通过该方法制造的精细结构元件
机译: 空间光调制设备,使用空间光调制设备的投影仪,制造空间光调制设备中使用的精细结构元件的方法以及通过该方法制造的精细结构元件