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机译:基于微光学机电系统和微焦焦X射线管的无掩模X射线光刻
Institute for Physics of Microstructures Russian Academy of Sciences;
Institute for Physics of Microstructures Russian Academy of Sciences;
National Research University of Electronic Technology MIET;
maskless lithography; microoptical electromechanical system; laser-produced plasma; field-emission nanocathodes; X-ray optics; multilayer mirrors;
机译:基于微光学机电系统和微焦焦X射线管的无掩模X射线光刻
机译:具有微焦点X射线管的基于单栅格的相衬X射线成像(PCXI)的实验装置和系统性能
机译:基于硅野发射纳米细胞的微孔X射线管创造技术原理的发展
机译:基于微焦科X射线管的无掩模纳米刻录:将电子能量转化为BEKα线
机译:基于线性菲涅耳波带片的两态对准系统,用于0.25微米X射线光刻。
机译:基于点目标的显微计算机断层扫描微焦点X射线管的研究
机译:基于点状目标的微焦X射线管用于微计算机断层扫描的研究。