机译:等离子体增强化学气相沉积的大面积硅 - 氮化物薄膜沉积的参数研究和残余气体分析
Tsinghua Univ Dept Mech Engn Beijing 100084 Peoples R China;
Beijing Inst Technol Sch Mech Engn Beijing 100081 Peoples R China;
Tsinghua Univ Dept Mech Engn Beijing 100084 Peoples R China;
Tsinghua Univ Dept Mech Engn Beijing 100084 Peoples R China;
PECVD; Silicon-nitride; Thin film; Process parameter; Residual gas;
机译:等离子体增强化学气相沉积的大面积硅 - 氮化物薄膜沉积的参数研究和残余气体分析
机译:以单甲基硅烷为硅源的等离子体化学气相沉积薄膜沉积硅结合的类金刚石碳
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