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机译:钽五氧化钽和二氧化锆膜的电致变色,光学和结合能性能沉积RF磁控溅射和阴极电弧等离子体
Natl Yunlin Univ Sci &
Technol Grad Sch Elect Engn Touliu 64002 Yunlin Taiwan;
Inst Nucl Energy Res Phys Div Longtan Dist 32546 Taoyuan County Taiwan;
Natl Yunlin Univ Sci &
Technol Grad Sch Elect Engn Touliu 64002 Yunlin Taiwan;
Inst Nucl Energy Res Phys Div Longtan Dist 32546 Taoyuan County Taiwan;
Tantalum pentoxide (Ta2O5); Zirconium dioxide (ZrO2); Electrochromic device (ECD); RF magnetron sputtering; Cathodic arc deposition;
机译:钽五氧化钽和二氧化锆膜的电致变色,光学和结合能性能沉积RF磁控溅射和阴极电弧等离子体
机译:用射频磁控溅射和退火制备的二氧化钛,二氧化硅和五氧化二钽波导和光学谐振滤波器
机译:用射频磁控溅射和退火制备的二氧化钛,二氧化硅和五氧化二钽波导和光学谐振滤波器
机译:RF磁控溅射沉积过程中五氧化二钽薄膜界面粗糙度的原位X射线反射率测量
机译:交流磁控溅射在低温下沉积的生物相容性氧化铝膜的性能。
机译:氧浓度对超薄射频磁控溅射沉积铟锡氧化物薄膜作为光伏器件上电极的性能的影响
机译:结晶五氧化二钽结构转变的证据 通过RF磁控溅射生长的薄膜