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机译:改进的敏感性MEMS悬臂传感器用于太赫兹光声光谱
US Air Force Inst Technol Dept Elect &
Comp Engn 2950 Hobson Way Wright Patterson AFB OH 45433 USA;
Wright State Univ Dept Phys 3640 Colonel Glenn Highway Dayton OH 45435 USA;
Wright State Univ Dept Phys 3640 Colonel Glenn Highway Dayton OH 45435 USA;
cantilever; photoacoustic; MEMS; terahertz;
机译:改进的敏感性MEMS悬臂传感器用于太赫兹光声光谱
机译:用于太赫兹光声光谱的改进的灵敏度MEMS悬臂传感器
机译:使用MEMS悬臂传感器的太赫兹光声光谱
机译:MEMS悬臂传感器,用于光声检测Terahertz辐射
机译:MEMS悬臂传感器,用于太赫兹光声化学感测和光谱学。
机译:用于太赫兹光声光谱的改进的灵敏度MEMS悬臂传感器
机译:用于太赫兹光声光谱的改进的灵敏度MEMS悬臂传感器
机译:用于太赫兹光声化学传感和光谱的mEms悬臂传感器