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机译:具有CMP改进实际接触区域的半经验材料去除模型
Tongmyong Univ Sch Mech Engn 428 Sinseonno Busan 48520 South Korea;
Chemical mechanical polishing (CMP); Empirical modeling; Material removal rate (MRR); Real contact area (RCA);
机译:具有CMP改进实际接触区域的半经验材料去除模型
机译:辊式线性CMP(roll-CMP)工艺中材料去除率的数学模型:抛光垫的作用
机译:固定环与抛光垫之间的接触角对CMP工艺中材料去除均匀度的影响
机译:无磨料CMP工艺中不同接触方式对材料去除率和不均匀性的影响
机译:考虑去除材料协同作用的铜化学机械平面化(CMP)的物理化学建模。
机译:使用滑动纳米金刚石触头对材料进行介观物理去除
机译:SiO2化学机械抛光(CMP)工艺的半经验材料去除率分布模型