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机译:硅晶片上电镀的镍膜的杨氏模量的微桥测试和残余应力
nickel film microbridge; MEMS; mechanical property; load-deflection measurement;
机译:硅晶片上电镀的镍膜的杨氏模量的微桥测试和残余应力
机译:用微桥试验评估镍膜的杨氏模量和残余应力
机译:硅片上电镀铜膜的杨氏模量和残余应力的测量
机译:使用独立的应变和杨氏模量测量来量化电镀NiFe薄膜中残余应力的晶圆定位图
机译:硅上溅射沉积的镍钛薄膜的附着力和残余应力。
机译:通过硅烷化合物改性和快速热退火处理化学镀镍磷膜在硅片上的附着力
机译:硅片上等离子体增强化学气相沉积氧化硅膜的微桥测试