超精密切削加工② No.129：超音波援用用研磨法によるマイクロ非球面型の超精密加工

摘要

光学ガラスレンズはデジタル産業の進展に伴い、そのニーズはますます増大しているが、切削加工や研削加工によって加工された超硬合金などのセラミック型を用いてプレス成形されている。 これまで筆者らほマイクロ非球面の超精密斜軸研削法／システムの開発を行い、マイクロデバイス用レンズ成形型の精密加工を実現してきた。 近年、高画質化や青色半導体レーザー化など短波長化に伴い、さらに高い形状精度が要求され、切削·研削加工の後に研磨加工し、さらに表面粗さと形状精度を改善する要求が生じている。 しかし、従来の微小回転工具研磨法では、口径がΦ0.5～Φ3mmのレンズ型への適用ほ困難である。 そこで、微小なポリシャを被加工面に一定荷重で押し付け、遊離砥粒と超音波を付加することにより、研削加工面を仕上げ加工する新しい方法を提案し、小型の同時3軸制御の超音波援用マイクロ研磨システムを開発した。