フィルタードアーク蒸着法による高硬度DLC膜の金型への適用

摘要

DLCはその製法や目的によりさまざまな種類が存在し、それぞれの性質に合わせて多種多様な製品に利用されている。本稿では、その中でも最も高硬度なDLCであるta-C膜（tetrahedral amorphous carbon、商品名：AC-X）、および成膜装置(T-FAD; T shaped Filtered Arc Deposition)と金型への応用例について紹介する。