超精密加工機における機上計測装置を使った補正加工の実例

摘要

当社では、「超精密非球面·自由曲面加工機ナノアスファ」シリーズを開発し、超精密加工の要求に応えてきた。これら加工機には、工作物を主軸に保持した状態で形状測定が町能な機上計測装置が付属しており、高精度な形状測定と解析結果に基づいた補正加工が可能である。ここでは、超精密非球面·自由曲面加工機の一例として図1に示す超精密5軸加工機「ナノアスファASP01UPX」をあげ、超精密加工機と加工機に搭載された機上計測装置の特徴について述べる。また、軸対称非球面形状の加工時における機上計測装置を使った補正加工について報告する。