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パルスDC-PCVD法による各種硬質皮膜の金型への応用

机译:各种硬膜模具用脉冲DC-PCVD法

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摘要

本稿では,量産型パルスDC-PCVD装置の構造とPCVD法により作製した高面圧冷間加工用金型向けTiCN傾斜組成膜,ダイカストの離型剤フリーを達成できるTiAlSiCNO系ナノコンポジット膜,DLC膜および次世代スーパーハードコーティングの特性と応用について報告する.
机译:本文中,TiAlsicno纳米复合膜,DLC膜,可实现高表面压力冷加工模具和压铸模具的TiCN梯度膜形成,以及由由大规模生产的脉冲制造的高表面压力冷加工模具的压铸模具DC-PCVD器件和PCVD方法及其应用的下一代超硬涂层的特点及应用。

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