公开/公告号CN109023311B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-10
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201810585572.9
申请日2014-09-29
分类号C23C16/505(20060101);C23C16/26(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人樊英如;张静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 12:27:43
机译: 脉冲低频射频功率高选择性低应力碳硬膜
机译: 具有脉冲低频射频功率的高选择性,低应力碳硬掩模
机译: 通过脉冲低频射频功率实现高选择性和低应力碳硬掩模