新型卓上顕微鏡TM4000シリーズの特徴と応用

摘要

走査電子顕微鏡(SEM)は、物質表面の微細構 造を観察する装置として、エレクトロニクス分野、 バイオテクノロジー分野、材料分野をはじめ、あ らゆる産業分野において、幅広く利用されている。 従来のSEMは非常に大きなサイズをもった装置で あったが、われわれは、誰でも使えるSEMをコ ンセブトに卓上型のSEM「Miniscope"' TM-1000」 を2005年に発売した（Miniscopeは日立ハイテク の登録商標)。その後、TMシリーズは小型，安価 でかつ簡単に操作可能なSEMとして好評を博し， 累計販売台数は3,500台を突破したa6年12月時点）。