大気圧プラズマ重合により接着強度を向上させたフッ素樹脂フィルムの開発

摘要

PFA（perfluoroalkoxy fluoroplastics，-［CF2-CF2］n－［CF2－CF（OCF2CF2CF3）］m－），PTFE（polytetrafluoroethylene，-［CF2－CF2］n－），PCTFE（polychlorotrifluoroethylene，－［CF2－CFCl］n－）等のフッ素系樹脂薄膜フィルムは，耐熱性，耐薬品性，電気絶縁性，ガスバリア性，難燃性，電気特性などにおいて優れた基本性能を有し，様々な用途展開が図られているが，接着し難く，積層化，めっきが極めて困難である。 これらを可能にできれば，その高いガスバリア性，水蒸気バリア性から，超長寿命の有機EL電子ペーパ画像表示装置，めっきによる電子回路形成，フレキシブル多層配線基板を実現できる可能性がある。