机译:原子层沉积中的理解(KOBU)-BU-T - 浅谈KNBO3生长过程的原位机械研究
Univ Oslo Dept Chem N-0315 Oslo Norway;
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Univ Oslo Dept Chem N-0315 Oslo Norway;
Argonne Natl Lab 9700 S Cass Ave Argonne IL 60439 USA;
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Univ Oslo Dept Chem N-0315 Oslo Norway;
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机译:mOCVD(金属有机化学气相沉积)III / V半导体生长的原位机理研究