机译:前言:原子和分子层处理的专题:沉积,图案化和蚀刻
Cornell Univ Robert F Smith Sch Chem &
Biomol Engn Ithaca NY 14853 USA;
Univ Calif San Diego Dept Chem &
Biochem 9500 Gilman Dr La Jolla CA 92093 USA;
机译:前言:原子和分子层处理的专题:沉积,图案化和蚀刻
机译:使用离子注入,硅沉积和选择性硅刻蚀对硅进行逐层3D图案化的工艺注意事项
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机译:原子层沉积和原子层蚀刻 - 选择性过程的概述
机译:各种氧化物薄膜原子层沉积和热原子层蚀刻工艺的机械研究
机译:通过化学蚀刻和通过原子层沉积(ALD)沉积二氧化钛薄膜在纳米钛表面上形成微结构和纳米结构
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