机译:环形槽膜的设计,制造和表征与Rood梁压阻压力传感器结合的低压测量
Univ Politecn Madrid UPM Laser Ctr C Alan Turing 1 Madrid 28031 Spain;
Northwestern Polytech Univ Key Lab Micro Nano Syst Aerosp Minist Educ Xian 710072 Shaanxi Peoples R China;
Univ Politecn Madrid UPM Laser Ctr C Alan Turing 1 Madrid 28031 Spain;
Northwestern Polytech Univ Key Lab Micro Nano Syst Aerosp Minist Educ Xian 710072 Shaanxi Peoples R China;
Univ Politecn Madrid UPM Laser Ctr C Alan Turing 1 Madrid 28031 Spain;
Univ Politecn Madrid UPM Laser Ctr C Alan Turing 1 Madrid 28031 Spain;
MEMS piezoresistive pressure sensor; High concentrated stress profile; Partially stiffened membrane; Sensitivity; Pressure nonlinearity;
机译:环形槽膜的设计,制造和表征与Rood梁压阻压力传感器结合的低压测量
机译:用于微压测量的新型结构压阻式压力传感器的设计优化和制造
机译:低压测量新型结构压阻压力传感器的设计与分析
机译:新型结构四梁浮雕膜(FBBM)压阻式压力传感器的设计
机译:α(6氢)-碳化硅作为高温应用的压阻压力传感器的特性和制造。
机译:用于低压测量的压阻压力传感器的机械结构设计:通过传感器灵敏度的提高进行的计算分析
机译:用于微压测量的新型结构压阻压力传感器的设计优化和制造
机译:环形湍流中波动压力和速度的相关和光谱测量