一种梁岛膜压阻式压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种梁岛膜压阻式压力传感器，包括金属引线和硅基底，所述金属引线的下方安装有压敏电阻，所述第一二氧化硅层的下方设置有单晶硅层，所述硅基底位于第二二氧化硅层的下方，所述玻璃衬底与硅基底之间设置有真空腔，且真空腔的内部设置有岛，所述压敏电阻的上方设置有梁，且梁的内侧安装有中心膜，所述中心膜的上方设置有平膜，所述金属引线的转折处连接有焊盘。该梁岛膜压阻式压力传感器，与现有的普通压力传感器相比，该设备能够降低中心膜的挠度，减少中性面的弯曲，满足小挠度假设，减少非线性误差带来的影响，该设备压敏电阻折弯处宽度很大且掺杂浓度很高，这样能够使折弯处的电阻很小，使压敏电阻更好的相匹配。