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机译:溅射电压和电流对单步脉冲直流磁控溅射制备CIGS薄膜组成和微观结构的影响
CIGS film; One-step magnetron sputtering; Composition; Preferred orientation;
机译:溅射电压和电流对单步脉冲直流磁控溅射制备CIGS薄膜组成和微观结构的影响
机译:Cu的作用对由高功率脉冲磁控溅射和脉冲DC磁控溅射组合的混合系统沉积的TIB2膜微观结构和性能
机译:直流磁控溅射和大功率脉冲磁控溅射制备的薄膜的比较研究
机译:直流,脉冲和高电离脉冲功率磁控溅射制备反应溅射二氧化钛薄膜的研究
机译:脉冲反应直流磁控溅射技术制备的高介电常数薄膜的沉积和表征。
机译:前驱体C2H2分数对磁控溅射沉积制备的含Si和Ag的非晶碳复合膜的组织和性能的影响
机译:直流磁控溅射与大功率脉冲磁控溅射制备CrNx薄膜的比较研究