机译:双磁控开放场溅射系统,用于横向沉积薄膜
Dual-magnetron; Open field configuration; Sideways deposition; HiPIMS; HPPMS; DCMS;
机译:双磁控开放场溅射系统,用于横向沉积薄膜
机译:单磁控和双磁控系统中脉冲沉积过程中溅射原子传输的模拟
机译:用于TiCrsin薄膜沉积的混合高功率脉冲和射频磁控溅射系统:等离子体特性和薄膜性能
机译:射频溅射通过物理气相沉积处理Cu(In,Ga)Se2薄膜太阳能电池的ZnO,ZnO:Al薄膜的沉积和表征
机译:用于微机电系统的薄膜镍钛形状记忆合金的溅射沉积和表征。
机译:由氧化物薄膜的溅射沉积条件确定的结构和光学特性
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