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机译:使用紧凑型激光等离子EUV光源在13.8 nm处具有低于70 nm的分辨率的台式显微镜
机译:使用紧凑型激光等离子EUV光源在13.8 nm处具有低于70 nm的分辨率的台式显微镜
机译:紧凑的准单色激光等离子EUV源,基于波长为13.8 nm的双流气嘴目标
机译:紧凑的准单色激光等离子EUV源,基于波长为13.8 nm的双流气嘴目标
机译:使用台式13nm高谐波源的超高22nm分辨率EUV相干衍射成像
机译:具有台式高谐波产生量的EUV显微镜来源:将相干衍射成像推广到透射,反射和高光谱模态中的扩展样品。
机译:高数值孔径的台式软X射线衍射显微镜分辨率为70 nm
机译:具有13nm波长激光的亚38nm分辨率桌面显微镜显微镜
机译:使用桌面超快EUV源的超快磁力动态测量,报告涵盖的时期:2009年9月15日至2011年5月10日。