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SU8 inverted-rib waveguide Bragg grating filter

机译:SU8倒肋波导布拉格光栅滤波器

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摘要

A polymeric SU8 inverted-rib waveguide Bragg grating filter fabricated using reactive ion etching (RIE) and solvent assisted microcontact molding (SAMIM) is presented. SAMIM is one kind of soft lithography. The technique is unique in that a composite hard-polydimethysiloxane/polydimethysiloxane stamp is used to transfer the grating pattern onto an inverted SU8 rib waveguide system. The composite grating stamp can be used repeatedly several times without degradation. Using this stamp and inverter-rib waveguide structure, the Bragg grating filter fabrication can be significantly simplified. The experiment result shows an attenuation dip in the transmission spectra, with a value of -7 dBm at 1550 nm for a grating with a period of 0.492 μm on an inverted-rib waveguide with 6.6 μm width and 4 μm height.
机译:提出了使用反应离子刻蚀(RIE)和溶剂辅助微接触成型(SAMIM)制造的聚合物SU8倒肋波导布拉格光栅滤波器。 SAMIM是一种软光刻。该技术的独特之处在于使用了复合硬聚二甲基硅氧烷/聚二甲基硅氧烷印模将光栅图案转移到倒置的SU8肋形波导系统上。复合光栅图章可以重复使用多次而不会降低性能。使用这种压模和逆变器-肋形波导结构,可以大大简化布拉格光栅滤波器的制造。实验结果表明,在宽度为6.6μm,高度为4μm的倒肋式波导上,周期为0.492μm的光栅在1550 nm处的透射谱衰减衰减为-7 dBm。

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