装置メーカーが求めるプロセスガス制御技術装置装置への市場ニーズに対応したコンポーネント開発への要求

摘要

半導体製造装置に対する基本的な市場要求は次の4点に大別される。 （1）価格低減（2）製造期間の短縮（3）稼働率の向上（4）プロセスパフォーマンスの向上半導体製造装置の製造原価に占めるガス供給系コスト比率は、他の機能コンポーネントと比較しても大きい部類に分類され、更には今後のプロセスや製品のカスタム化の要求に伴うガス供給系への特殊な仕様要求の増大によりその比率は更に増えることが予想される。 そのような状況の中、装置メーカーとしては"特殊な仕様要求"に対し如何にコストを増大させずに対応していくかがガス供給系を含めた全てのコンポーネントに対する課題となっている（(1)）。