クリーンルーム(CR)循環風量削減による省エネ：東芝セミコンダクター社大分工場での省エネ対策事例

摘要

半導体製品の製造においては、製造環境の高清浄度化、一定温湿度の維持等で、膨大な空調電力を消費している。 本稿では、CR構造と製品運用の特性に応じて清浄度維持に必要な循環風量に緩和することで、空調電力の省エネを行った事例について紹介する。