LSI製造における局所環境用汚染センサー－ウェハー容器内の雰囲気汚染をQCMでリアルタイムに検出する

摘要

半導体LSI製造に使用するFOUPやSMIF Podといったウェハー容器内で発生する雰囲気汚染を、リアル·タイムかつ高感度で検出するQCMセンサーを開発した。 容器を改造せずにセンサーを設置できるので手軽に使用でき、汚染対策の強力なツールとなることが期待できる。