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李晓红; 周炳海;
上海交通大学机械与动力工程学院;
晶圆制造; 动态瓶颈; 实时调度; 合弄机制;
机译:半导体晶圆制造系统实时调度中多个调度决策点上调度规则的选择
机译:具有多瓶颈的半导体晶圆制造设备中基于多蚁群的排序方法
机译:晶圆制造系统中瓶颈的动态WIP控制策略
机译:晶圆初始状态晶圆制造线瓶颈站短期调度的最优方法
机译:使用实时反馈控制和预测对半导体晶圆制造进行车间调度。
机译:提升晶圆制造厂的调度性能:双目标松弛分散非线性波动平滑规则
机译:半导体晶圆制造中步进电机多目标动态调度的帕累托控制
机译:使用简化的晶圆曲率技术实时测量外延应变
机译:晶圆载体清洗设备,包括该晶圆载体的自动机械处理系统以及在集成电路制造过程中处理晶圆载体的方法
机译:防止在使用激光的晶圆标记过程中晶圆的标记位置变化的设备和方法以及使用激光的晶圆标记设备和方法
机译:晶圆支架清洗装置,包括该晶圆支架的自动机械处理系统以及在集成电路制造过程中处理晶圆支架的方法
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