フィルタにおけるクリーン化技術の最新動向：半導体製造におけるフィルタの最新技術

摘要

本稿では最近のフィルタ技術の話題について述べた。 フィルタは重要な要素技術の一つであるにも係わらず、関係者以外の一般の認識はそう大きくはないのが現状かも知れない。 しかしながら、フィルタが単純に異物を除去するツールであるとの印象は最近の製造プロセスでは当てはまらない場合が多い。特に、インライン型フィルタは各種の製造装置に搭載されるため目立ちにくいのは事実であるが、一方でケミカルフィルタの本質が十分に理解されつつあり、今後もこの種の改良·改善が進むものと考えてよい。 次世代デバイスの製造プロセスでは、環境技術としてのミニエン化がさらに主流となりフィルタ技術がさらに重要な位置を占めるが、製造装置においてもフィルタ技術が歩留りの鍵を握るものと思われる。 たかがフィルタされどフィルタとの言葉がある一方で、フィルタ技術の奥行きの深さを再認識せざるを得ない。