特集：明日のプロセスガス制御技術への挑戦－マルチガス、マルチレンジ対応マスフローコントローラ－SEC-Z500シリーズ

摘要

300mmウエハ半導体デバイス時代に入り、半導体製造装置の導入には高性能、高信頼性、低コストが要求されております。 ガス供給のキーパーツであるマスフローコントローラにも同様の厳しい要求を頂いています。 本稿では、半導体プロセスの生産性向上のために開発しているSEC－Z500シリーズの特長について、を取り上げて解説致します。 （1）SEMIスタンダード（2787.1）すべてに対応できる外形寸法；（2）マルチガス、マルチレンジ対応；（3）高精度流量保証；（4）全領域での応答速度高速化；（5）トラブル予知モニタリング機能内蔵.