大型サイズ次期ラインのウエツト設備-G6·G7基板対応のウエツト設備の基本ツールとコンセプト

摘要

近年のFPD業界はすでに大型TV対応として第6～7世代基板対応めラインの導入検討を始めている。 ほとんどのパネルメーカは、価格競争に打ち勝つためには、投資コスト＝基板サイズ比のルート倍の理論は崩れると見ており、トレンドとして第6期以降は基板サイズ比の{sup}（1/2）×0.8となる。 言い換えると、我々製造装置メーカーへのトータルコストチャレンジでもあり、装置作りは従来の思想を打ち破る必要がある（図1）。 従来の思想で装置を構成しようとすると、フットプリントは拡大し、また使用ユーティリティーも大幅アップすることからトータルコストに大きな影響を与える。 弊社はツール·装置の試作および評価を行いながら枚棄式洗浄装置を中心に新時代に対応できる実用機を完成させてきた。 第6世代基板対応のウェットプロセッサは日本の某ユーザに導入し、既に生産に貢献しており、今年から海外ユーザにも導入を開始する。 枚葉方式の特徴を充分に生かした省スペースプロセッサのコンセプトを紹介するとともに今後更なる基板の大型化に対応するためのアイデアを述べる。