コーヒープレイク：ますます多様化するITRS－国際半導体技術ロードマップ2005年版（下）

摘要

ITRS2005（国際半導体技術ロードマップ2005年版）には、2020年に至る今後15年間のロードマップが示されていますが、15年後までには、CMOSの微細化は限界に近づくと考えられており、ムーアの法則に従った微細化の推進（"More Moore"、略語·用語解説参照）の先には、CMOSを超える新規技術が必要となります。 このため、新規探求デバイス(Emerging Reseasrch Devices)が独立した章構成となりました（表2）。 アナログRF、センサー、バイオチップ、スピントランジスタなど多様化（"More than Moore"、略語·用語解説参照）の視点も重要になってきています。 今後、プロセスもデバイスも多様化が必至でしょう。