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【24h】

Mechanical destruction of electron resist under irradiation

机译:辐射下电子抗蚀剂的机械破坏

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摘要

On the basis of macrophysical concept a model of electron beam effect on electron-sensitive resist PMMA is presented.
机译:在宏观物理概念的基础上,建立了电子束对电子敏感抗蚀剂PMMA影响的模型。

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