高出力レーザー用光学薄膜の開発と応用製品

摘要

高出力で高品質のレーザーは多くの光学部品で構成されており，その表面には光学薄膜がコーティングされている。これらの光学部品における大きな問題の一つが，光学薄膜のレーザー損傷しきい値である。そのため，高いレーザー耐力を有する光学薄膜が強く望まれている。今回，高いレーザー耐力を有する光学薄膜の開発ならびに，その実用性について確認した。波長1064nmのパルスレーザーを用いて反射防止（Anti-reflection：AR）膜をコーティングした光ファイバのレーザー損傷しきい値を測定したところ，25.0J/cm~2であった。さらに，同サンプルに波長1030nmのCWレーザーを10分間照射したところ，出力変動がなく損傷も確認されなかった。これらの結果より，このAR膜が高出力レーザーに充分適用可能であり，実用レベルであることが確認できた。