RFバイアススパッタ法による簡便なc軸平行配向ZnO膜の形成＝RFバイアスを用いたイオン照射による結晶配向制御

摘要

c軸が基板と平行に配向したZnO膜を用いた厚みすべりモード薄膜共振子は、液体中で質量負荷を測定するセンサへの応用が期待されている。本稿では基板へRFバイアスを印加しながらスパッタ成膜することで、ZnO膜の結晶配向を制御しc軸平行配向ZnO膜を作製する方法について解説する。