利用RF等离子溅射法制备Fe及Fe-N膜

摘要

利用ＲＦ等离子溅射法制备的膜有很多优点，如溅射过程中不依赖材料的蒸气压，不受污染，而且材料消耗少，制出的膜纯度较高，均匀性好，机械性能好，针眼少。