超高精度ベーパーソースコントローラ

摘要

半導体デバイスの歩留まりの低下は各種原料ガスの供給量（g／分）が不安定であることが一因となる。超音波式2種混合ガス濃度計「Piezocon」は発生原料ガス濃度（g／SL）をインライン·リアルタイムで計測し、その濃度変化量を基に原料ガス供給量（g／分）を安定化するために必要なMFCキャリアガス流量を補正制御する機能を持つ。