ファイバーに押され気味の炭酸ガスレーザ発振器食品·半導体に新用途開拓進む

摘要

切断加工ではファイバーレーザに押され気味の炭酸ガスレーザ発振器だが、食品フイルム包装の微細加工機向けや、次世代リソグラフィの"EUV"光源向けに新規開拓が進んでいる。