プリンテッド·エレクトロニクスでの微細化に向けた高解像度スクリーン印刷用感光剤と受容層－その要求特性と開発事例一

摘要

現在，半導体·ディスプレイ·電子製品の大半は，フォトリソグラフィーにより電子回路の微細パターンが形成されている。例えば半導体分野では，大面積シリコンウエハー上に多数の半導体チップを形成する方式が採用されている。また，ディスプレイを含む大面積化での製造を目指すエレクトロニクス製品では，フォトリソグラフィーにて更なる製造コストの削減が困難である。プリンテッド·エレクトロニクス（印刷形成エレクトロニクス，略称：PE）は，一般的な印刷技術を基盤として生産するため，通常の半導体·ディスプレイ·*電子部品の製造プロセスでの露光·エッチング等が不要である。