ピクセルセルフチェック機能を有する容量型指紋センサLSIのウエハレベルテスト手法

摘要

容量型指紋センサLSIを実装前にウエハ上でテストする手法を開発した．センサ表面に指を触れて指紋センシングを行わなくてもテストできるようにするために指の接触を模擬するテスト機能をピクセルに搭載した．ダミー容量による模擬回路を用いたピクセルセルフチェック機能により，正しい色を出力できない不良ピクセルを検出することができる．本テスト手法を適用した指紋センサLSIを試作し，不良ピクセルの検出を行った．本テスト手法により，指を触れずに全てのピクセルを検査することができ，不良ピクセル数を判定基準としたウエハレベルでの良品選別が可能であることを確認した．