非冷却赤外線センサにおける基板温度·自己加熱補正機構

摘要

基板温度、および読み出し時に発生するジュール熱をリアルタイムに補正可能な非冷却（熱型）赤外線センサを開発した。 本センサは、基板温度をモニターする参照画素を各列に設け、参照画素選択時電圧にカラムアンプのゲート電圧を開催にホールドすることにより、赤外受光熱成分のみを増幅·読み出すことに成功した。 また、セル支持構造の熱コンダクタンス均一化により、ジュール熱成分の画素間ばらつきを抑制、固定パターンノイズを低減することに成功した。