ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究 第4報：加工用AFMカンチレバーを用いた高能率微細加工

摘要

本研究では，原子間力顕微鏡（AFM）機構と加工用AFMカンチレバーを用いて，高能率な微細加工を行うことを目的としている．本報では，1本のカンチレバーに複数の多結晶ダイヤモンド切れ刃を具備した多刃カンチレバーと，剛性の異なるカンチレバーを複数本有するマルチカンチレバーの2種類の加工用AFMカンチレバーを作製し，Ni-P合金めっきと単結晶シリコン（100）に対して加工実験を行い，高能率微細加工用工具としての評価を行った．その結果，多刃カンチレバーは，複数の切れ刃による同形状の同時加工が可能であった．また，マルチカンチレバーはたわみ剛性に応じた同時加工が可能であった．